光谱共焦测量技术由LED光源发射出一束宽光谱的复色光，通过色散镜头发生光谱色散，其中只存在某一特定波长的单色光聚焦在被测物体表面，并同时反射回光学系统。经过光谱分析得到该单色光波长值，由波长-距离标定即可换算出被测物体的距离值。

白光干涉仪是利用光干涉原理测量光程差而确定表面轮廓的高精度测量仪器。宽光谱白光光源经分光棱镜后分别照射样品表面和参考镜，两束反射光由于存在光程差而产生干涉现象。通过解析干涉条纹即可获取表面的高度信息。

白光干涉仪主要有VSI（垂直扫描干涉）和PSI（相移干涉）两种测量模式。VSI模式通过压电平台记录不同高度处的干涉条纹变化，通过解析干涉信号的最大包络位置（干涉信号对比最大处）确定样品表面个点的高度。PSI模式利用傅里叶变换或相位提取算法直接计算每个点的的干涉条纹相位，从而重建样品表面高度。

VSI垂直分辨率可达0.1nm，适合粗糙表面和大行程形貌分析；PSI垂直分辨率可达到0.01nm，适合超光滑表面和高精度的纳米级形貌分析。

变焦测量是通过垂直扫描将连续的位于焦点处的信号叠加形成的完整表面形貌数据，适用于测量粗糙表面和大倾斜角度的样品。

基于光的干涉现象，利用薄膜表面和底面多次反射形成的干涉条纹，结合光谱分析推算出薄膜的厚度。这是一种非接触式、快速且精确的光学测厚方法，广泛用于半导体、光学和材料科学等领域。

红外光谱干涉采用红外光源，强调红外波段的干涉效应，并结合分子振动吸收光谱用于化学组成和结构分析，能够测量硅片和塑料等不透明材料的厚度。对于多层膜结构，红外光谱能同时分析多层膜的厚度和材料特性。