三维表面形貌测量_3D轮廓仪_3D轮廓扫描系统-聆光测量

FocalStation三维表面形貌测量系统

高速高效稳定测量

· 2D轮廓测量，包含长宽高、角度和台阶高度等十余项
· 3D形貌测量，包含表面粗糙度、平面度、翘曲度和体积面积等

微观表面测量功能

· 透明、反光、黑色表面均可测量
· 测量范围小至芯片，大至显示面板
· ±42°大倾角适应性

· 20mm/s直线电机高速扫描
· 三步设置一键开始测量
· 大理石与气浮双重隔振系统
· 测量数据可重复性高

任何表面均可测量

纳米级光学测量

· 17nm垂直分辨率
· 1μm超高横向分辨率
· 1.5μm综合测量精度

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· 出厂前已完成精度校准
· 无需对样品倾斜校正
· 受振动、光线、湿度和温度等因素影响小
· 完备的软硬件培训和技术支持服务 

操作简单易维护

FocalStation系列测量产品

  • · 高精密直线电机运动平台
    · 大理石与气浮双重隔振系统
    · 测量可重复性高

    FocalStation 100

  • · 工业现场标准化机台设计
    · 定制化软硬件系统
    · 高稳定性

    FocalStation CM

  • · 工业级柜式机身
    · 10mm线共焦高速扫描
    · 全量程500Hz,最高2000Hz扫描效率

    FocalStation Premium

技术规格

型号 FocalStation 100 FocalStation CM FocalStation Premium
采样方式 点 点 线
运动方式 高精度直线电机
测量速度 20mm/s
点间距 1-100μm
载物台尺寸 150*150mm 150*150mm 500*500mm
XY扫描范围 120*120mm 120*120mm 400*400mm
XY定位精度 1.5μm/100mm
Z向定点量程 1400μm（100-42000μm选配）
Z向升降行程 100mm 100mm 150mm
Z向垂直分辨率 17nm 17nm 20nm
Z向水平分辨率 最高1μm
测量精度 1.5μm 1.5μm 2μm
采样频率 100-10000Hz 100-10000Hz 500-10000Hz
尺寸（长宽高） 700*1080*1300mm 840*1010*1750mm 2200*1800*2100mm
载重 10kg 15kg 20kg
适配器输入 100-240V AC 0.8A 50-60Hz