NCG-R系列白光干涉膜厚传感器

NCG-R是一款基于光谱反射技术的高精度膜厚传感器。其核心原理是利用传感器发出的光波，在被测物体不同表面发生反射并形成干涉信号，从而计算出各层之间的厚度。

在现代制造业中，精准控制每个生产环节对于确保高质量至关重要，尤其是在半导体、化工和新材料等行业。随着新材料的不断涌现，产品性能日新月异。例如，在半导体芯片制造中，需要沉积、抛光或保护超薄膜层，而在集成电路的封装阶段，薄膜的厚度直接影响产品的最终性能。同样，在化工领域，许多高性能材料被广泛应用于集成电路制造，对膜层厚度的控制要求极为严格。

控制器技术规格

注释：
以上参数均在静态测试中得到验证。在15℃-35℃范围内，测量性能最佳。

*折射率 n=1.0时的范围。要获得其他材料的测量范围，请除以该材料折射率。当粗糙表面的Ra＞0.1时，测量范围会受到限制。

安装尺寸规格

精确测量 适用于多种制程

NCG-R专为高精度薄膜测量设计，可用于薄膜沉积、前道制程、抛光（CMP）、减薄以及封装制程等多个环节，确保膜层质量稳定可靠。该系统适用于单层和多层叠加结构的测量，即使膜层厚度仅为数微米甚至几十纳米，也能实现高精度测量，以满足高性能制造需求。

高柔性 适配动态与静态测量

NCG-RNCG-R具备卓越的灵活性，可在静态或动态环境下进行测量，适用于CMP设备、减薄机等工艺设备，实现实时厚度监控和精准控制。此外，其软硬件架构支持多传感器并行测量，可在多个工位同步采集数据，提升生产效率和质量控制能力。

紧凑设计 适应严苛环境

NCG-R传感器结构小巧紧凑，不仅适用于洁净室环境，也能在复杂工业条件下稳定运行，是众多高精度制造应用的理想选择。

测量头技术规格