根据最新ISO 12781-2011国际标准，以及与之对应的国家标准《GB/T 24630.1-2009产品几何技术规范（GPS）平面度第1部分：词汇和参数》，平面度被定义为实测表面高度距离理想平面的偏差。

理想平面是利用实测数据计算并拟合出的平面，与理想平面平行的上下两个平面在空间内包含所有测量点，这两个平面的最小距离t被称之为公差值。

平面度的计算首先需确定理想平面，再以该理想平面作为基准平面计算各测量点到基准平面的绝对距离值，最终取最大值。

最小区域平面和最小二乘平面是用于评定理想平面的两种常用方法。最小区域基准平面是指包容所有测量数据且距离为最小的两平行平面，两平面的最小距离值t即为平面度的公差值。

 最小二乘基准平面是指各测量点距该表面的距离的平方和为最小的平面，分别计算波峰、波谷至该平面的距离绝对值，即为平面度偏差。

FLTt: 峰-谷平面度误差
平面内波峰和波谷与理想平面偏差的绝对值之和，理想平面可使用最小区域基准平面或者最小二乘基准平面。

FLTp:峰-基平面度误差
平面内波峰距离理想平面的偏差值，该参数仅对最小二乘基准平面定义。

FLTv:谷-基平面度误差
平面内波谷距离理想平面的偏差值，该参数与FLTp一致，仅对最小二乘基准平面定义。

FLTq:均方根平面度误差
各测量点距离基准平面偏差的平方和的平方根值，反应各测量点与理想平面的偏离程度。该值也仅对最小而成基准平面定义。